性能参数参数下载图纸下载CAD模型
| 概观 | |
|---|---|
| 步进行程[mm] | 26 |
| 扫描行程[μm] | >1.5 |
| 尺寸[mm] | 40 x 17 x 10 |
| 重量[g] | 26 |
| 力特性 | |
| 最大推力[N] | 2 |
| 最大负载[N] | 10 |
| 最大升力[N] | 1.5 |
| 定位性能 | |
| 开环最大速度[mm/s] | >10 |
| 开环定位分辨率[nm] | <1 |
| 闭环最大速度[mm/s] | >5 |
| 闭环定位分辨率[nm] | <2 |
| 单向重复定位精度[nm] | ±50 |
| 选配 | |
| 材质 | 标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK） |
| 真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
| 超高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
| 无磁 | 可根据要求定制 |
* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。