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| 概况 | |
|---|---|
| 轴数 | 4 |
| 步进行程[mm] | 21 per axis |
| 扫描行程[μm] | >2 |
| 靠板安装尺寸[mm] | 60x66x63 |
| 直接安装尺寸[mm] | 47.5x52.5x58 |
| 力特性 | |
| XY 最大负载[N] | 20 |
| Z 最大负载[N] | 1.5 |
| 开环定位 | |
| 最大速度[mm/s] | 20 |
| 定位分辨率[nm] | <1 |
| 闭环定位 | |
| 传感器分辨率[nm] | 1 |
| 单向重复定位精度[nm] | ±40 |
| 选配 | |
| 材质 | 标配为铝底座；其他材质可根据要求定制 |
| 真空 | HV(1E-6 mbar)、UHV(1E-10 mbar) |
| 低温 | 可根据要求提供 |
| 无磁 | 可根据要求提供 |
* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。