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产品简介
NMT纳米压痕仪，能够提供在光学显微镜和电子显微镜下，实时表征和观察微/纳米尺度材料机械力学性能。通过高分辨率的力传感器、位移传感器以及自动控制方法，可记录力学性能表征测试过程中，材料表面被压入的深度和负载数据，形成力-位移曲线。
产品特性
高精度力和位移测量
多种力传感器和尖端形状应对多种机械特性材料
兼容各类主流光学显微镜和扫描电子显微镜
产品应用
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| 纳米压痕测试 | 拉伸和压缩测试 | 纳米操纵与装配 |
规格参数
| 力传感器 | Sensor A | 测量分辨率 | 1 nN |
|---|---|---|---|
| 测量范围 | +/- 50 uN | ||
| 尖端 | AFM硅探头 | ||
| Sensor B | 测量分辨率 | 1 uN | |
| 测量范围 | +/- 20 mN | ||
| 尖端 | 金刚石尖端；可定制化尖端 | ||
| Sensor C | 测量分辨率 | 10 uN | |
| 测量范围 | +/- 500 mN | ||
| 尖端 | 金刚石尖端；可定制化尖端 | ||
| 样品台 | 标准模块 | 运动平台 | XYZ |
| 运动范围 | 10x10x10 mm | ||
| 运动分辨率 | 1 nm | ||
| 编码器分辨率 | 2 nm | ||
| 压痕台 | 标准模块 | 位移范围 | 8 um |
| 位移分辨率 | 0.02 nm | ||
| 本底噪声 | 0.2 nm |