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产品简介
纳米操作机是一种可以在微纳米尺度下与样品进行精密操作和表征（如电学、力学、光学等），兼容于各种显微镜平台（如光学显微镜、SEM、FIB等）进行各种物理测量的精密仪器。该系统全部由NATORS自主开发的模块化部件组成，可根据用户需求提供定制化解决方案。
产品特性
闭环运动控制，具有数十毫米运动行程和纳米级运动分辨率
低漂移，高重复定位精度
结构紧凑、体积小，适配市面上大部分显微镜平台
模块化设计，可根据用户需求提供定制化服务
产品应用
微纳操作与微装配
半导体纳米芯片电学探测
材料纳米力学测量（纳米压痕、弯曲、拉伸测试）
光电材料等原位光诱导或原位性能测量
MEMS器件测试
规格参数
| 概述 | 技术参数 |
|---|---|
| 纳米操作手数量 | 多达8个+样品台 |
| 每个操作手自由度 | XYZ三轴 |
| 操作手运动行程（XYZ） | 20 mm |
| 开环运动分辨率 | 1 nm |
| 闭环运动分辨率 | 2 nm |
| 选配模块 | 力传感器 |
| 高温样品台 | |
| 低温样品台 | |
| 热电样品台 | |
| 旋转模块(机械手、样品台) | |
| 运动样品台 |