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产品简介
NanoCube是一款拥有三自由度的微纳米操作手，可进行跨尺度重复性纳米运动，配备多种末端执行器以针对不用精密表征及应用。
产品特性
闭环编码器
小巧实用
即插即用的末端执行器
可快速安装和拆卸
兼容大多数光学显微镜及SEM/FIB
产品应用
电学测量
微纳操作
微装配
原位表征
规格参数
| 概述 | 技术参数 |
|---|---|
| 外观尺寸 | 35x35x45mm |
| 工作范围 | A: 360° B: 120° C: 12mm |
| 最大速度 | A: 10mm/s B: 10mm/s C: 2mm/s |
| 开环运动分辨率 | A: 10µ⁰ (5nm) B: 10µ⁰ (5nm) C: 1nm |
| 闭环运动分辨率 | A: 30µ⁰ (14nm) B: 30µ⁰ (14nm) C: 5nm |
| 安装方式 | 磁性底座、螺纹紧固 |
| 备注：A、B、C 表示末端执行器的操作方向 A=左/右、B=上/下、C=延伸/缩进 | |