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纳米定位平台
LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程,定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动,使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台断电时可自锁且无能量损耗,使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外,我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。
直线定位平台
提供数十厘米的运动行程,定位分辨率优于1纳米
多轴定位平台
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