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纳米定位平台
NATORS的纳米定位平台配备了特定的压电陶瓷促动器,利用光学编码器在高频下提供大范围、纳米分辨率的位置反馈,使得高速定位器运动具有出色的重复定位精度。
直线定位平台
提供数十厘米的运动行程,定位分辨率优于1纳米
多轴定位平台
预装配叠堆运动平台,可快速安装
旋转定位平台
紧凑型、高分辨率旋转定位台
高负载平台
更大载升能力的垂直载物台
偏摆平台
小角度范围内进行精确摆动定位
六轴定位台
可实现六自由度精准定位
光机组件
通过位移传感器实现闭环位置控制
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